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    Copy mask 規(guī)格


    








Copy mask 規(guī)格



1、Mask size (Unit: mm)



Soda lime: 3006、4009、5009、6009、6012

Quartz：5009、6009



 



2、Mask Specification (Unit: um)




	
		

			Grade
			E
			D
			C
			B
			A
		

		

			CD
			±0.50
			±0.75
			±1.0
			±1.5
			±2.0
		

		

			Defect
			<10.0
			<10.0
			<10.0
			<10.0
			<10.0
		

	













 



    

    

    
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